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机台历史数据

拟合数据选择

晶体编号 机台 开炉日期 ∆功率 ∆长速 ∆升华速率

拟合曲线设置

拟合类型:
拟合方程:--
拟合度:--
有效总数据组数:0
选择拟合组数:0

拟合曲线图表

功率补偿计算

初始值(上炉)
补偿值(这炉)
等待计算…