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机台选择

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机台历史数据

拟合数据选择

晶体编号 机台 生长批次 开炉日期 ∆功率 ∆长速 ∆升华速率

拟合曲线设置

拟合类型:
拟合模型:
拟合模型:--
拟合方程:--
拟合度:--
有效总数据组数:0 组
选择拟合组数:0 组

拟合曲线图表

功率补偿计算

初始值(上炉)
补偿值(这炉)
统计截止日期
展示 颗
筛选条件
生长目的
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实验目的
请选择实验目的 ▼

长速 - 箱线图(不含实验炉次)

📊
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衬底 - 长速符合率(不含实验炉次)

📊
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衬底 - 长速 (g/h)

📊
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晶体产出汇总(正式长晶)

📊
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晶体预估有效厚度-箱线图

📊
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机台分布

异常预测
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生长目的
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实验目的
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↑门↑
正常
注意
警告
异常
辅助
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