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晶体信息汇总
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数据导入与管理

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查询

* 输入的关键词支持模糊匹配(如输入"16"可匹配"GH016"机台)
* 空格分隔多个关键词可同时筛选(如输入"16 17"匹配GH016、GH017)

晶体数据列表

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数据概览

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机台选择

* 选择需计算功率补偿值的机台编号

or

* 可输入机台全称或简称(如:GH016/016/16)

机台历史数据

拟合数据选择

选择 晶体编号 开炉日期 ∆功率 ∆长速 ∆升华速率

拟合曲线设置与结果

拟合方程:--
拟合度 R²:--
选择拟合组数:0

拟合曲线图表

下炉功率计算

g/h

* 默认目标值仅供参考,请根据实际情况修改

g/h
上炉功率: -- kW
功率补偿值: -- kW
推荐设定功率: -- kW